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快速退火系統(Rapid Temperture Annealing, RTA)

4.功能:適用前端製程快速高溫退火. 5.重要規格: (1).溫度顯示範圍：室溫~1000℃. (2).工作溫度: 250℃~1000℃(目前開放最高操作溫度900℃,持溫時間5分鐘).

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