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退火温度对溅射氧化锌薄膜的影响

摘要 利用射频磁控溅射技术在玻璃基片上制备了高度C轴择优取向的纳米氧化锌（ZnO）薄膜，采用扫描电子显微镜和X射线衍射仪研究了退火热处理温度对ZnO薄膜形貌、结构和 ...

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