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最新消息- 經濟部技術處

半導體退火是將離子佈植完後的晶圓加熱到高溫，藉以矽晶格恢復單晶及使摻 ... 產品良率，以七奈米製程為例，退火過程中磊晶受熱溫度需壓低至攝氏500度 ...

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