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發明專利說明書

包括間隙碳;以及在從約800℃到約1350℃的溫度下退火. 所述基板和磊晶層,以將所述磊晶層中的至少部分間隙碳. 轉化為替代碳。根據一個實施例,替代碳(如果初始存在.

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