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退火温度对氧化镍(NiO)薄膜的影响(2) - 真空技术网

3、退火温度对氧化镍(NiO)薄膜组成的影响为考察薄膜的化学组成，对不同退火温度下Si 基片上的NiO 薄膜进行能谱分析，结果见表1。

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