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工研院微波退火技術入圍全球百大科技獎 - Yahoo奇摩新聞

黃昆平解釋，屬於前段製程的退火過程，對半導體產品良率影響重大，目前7奈米製程需要將退火過程中的磊晶受熱溫度控制在攝氏600度以下，未來製程將朝更小 ...

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