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後製程熱退火處理調變下之氮化銦鎵/氮化鎵多層量子井結構與 ...

3-3 快速熱退火(Rapid Thermal Annealing, RTA) … ... (2)經溫度700℃、800℃、900℃持溫5 分鐘後製程退火處理後 ... 在確認試樣結構並分析後，決定以退火溫度為700.

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