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退火温度对MoS2纳米薄膜特性影响研究
The Influence of ...

本文主要采用化学气相沉积法，以MoS2饱和溶液为原料，利用氩气为输运气体，携带MoS2蒸汽进入反应室，在Si衬底上制备大面积均匀的MoS2超薄薄膜，并分析了不同的退火温度 ...

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