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退火溫度
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高溫快速熱退火技術於AM-OLED TFT-Array 之應用 - 材料世界網
ELA原理先利用PECVD方式沉積低氫含量a-Si薄膜,再以400℃~500℃溫度作去氫動作,去氫完成後以準分子雷射為主要動力能量,利用瞬間雷射脈波產生的高能量入射 ...
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