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退火機
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一种改善镍退火机台晶圆均一性的方法 - Google Patents
本发明提供了一种改善镍退火机台晶圆均一性的方法,包括:第一步骤:在硅片表面生长镍金属沉积物以制造镍金属控片;第二步骤:由待监控的退火机台对镍金属控片进行第一 ...
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「退火機」
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