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高溫快速熱退火技術於AM-OLED TFT-Array 之應用 - 材料世界網

目前在低溫複晶矽(Low Temperature Poly Silicon, LTPS)TFT元件中，p-Si製程的方法，廣範使用且已經產業化的是準分子雷射退火(Excimer-Laser ...

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