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1. CN108091565 - 快速热退火方法

本发明提供了一种快速热退火方法，包括：提供一基底，所述基底中注入有杂质离子，所述基底表面具有自然形成的生长层，通过在对所述基底执行快速热退火工艺时，向快速 ...

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