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半导体激光退火原理--《世界制造技术与装备市场》 - 中国知网

半导体激光退火原理. 张魁武. 【摘要】：正激光退火技术开始主要用于修复离子注入损伤的半导体材料,特别是硅。传统的加热退火技术是把整个工件放在真空炉中, ...

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