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快速升溫製程處理(RTP)

退火 產品廣泛應用於半導體元件製造，目的是改變材料的電性或物理特性（電導率、介電常數、緻密化或減少污染）。 以長溫退火、瞬間退火、毫秒級退火、和自由基熱氧化 ...

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