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三星半导体晶圆清洗设备技术被“盗卖”，中国或早已攻克

克服技术障碍的方法之一是让设备使用超临界流体状态的二氧化碳来清洁 ... 同时TEBO 清洗技术使得兆声波清洗产生的气泡不会爆炸，实现了硅片均匀和无损 ...

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