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奈米微氣泡浮除技術於半導體工業化學機械研磨廢水處理之應用 ...

以奈米微氣泡產生器曝空氣達平衡後水中溶氧之衰減情形..- 33 -. 圖2-12. ... 研磨液(slurry) 以及大量的超純水來洗淨晶圓表面上所殘留的懸浮微粒或是金屬.

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