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TWI473668B - 改良之超音波清洗方法與設備 - Google Patents

其共同組成一諧振器。該諧振器係在一共振頻率下受到電力驅動，該共振頻率係對應至諧振器的一結構共振，且典型地在10kHz與10MHz之間變動。當將諧振器緊臨基板(130)放置且以 ...

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