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非接觸式高精密平台之設計與控制應用

合壓電振動子之超音波振動，有效提升非接. 觸平台的聲浮力，且達到人耳聽 ... 利用二個超音波聲源，克服只有單一方向懸 ... 頻率f 為28kHz 時，在此頻率下的聲波波長.

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