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超臨界流體
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交大前瞻研發「超臨界流體技術」提升半導體電晶體元件品質
交大光電所劉柏村特聘教授分享其研發多年之「超臨界流體技術:氣液態共存態」,此技術可應用於前瞻單晶堆疊三維積體電路(Monolithic 3D IC)製程、平面顯示 ...
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