產水量:超純水> 0.6 L/Hr、純水18 L/Hr比阻抗值(MΩ.cm, 25 oC) ≧ 18.2微生物(總菌落數, cfu/ml) < 1總有機碳(TOC) < 10 ppb總矽酸鹽(Total Silica, ppb) ...
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