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探討半導體業之水資源回收再利用及處理分析-NDL 為例

半導體製程進入奈米尺寸後其程序變得更繁瑣，相對所需之超純水規格更是嚴格且 ... 物COD 初設費高其運轉成本尚可接受；去除導電度或是陰陽離子則須採用.

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