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超精密加工技術 - 中州科技大學

教學目標：本課程主要介紹超精密加工方法，作為尖端科技領域中必要關鍵技術，包含超精密加工機械、超精密切削加工、超精密研磨、超精密拋光、微影成像及蝕刻、精密微 ...

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