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精密及超精密加工 - 中文百科知識

超精密加工 是指亞微米級(尺寸誤差為0.3～0.03µm，表面粗糙度為Ra0.03～0.005µm)和納米級(精度誤差為0.03µm，表面粗糙度小於Ra0.005µm)精度的加工。實現這些加工所採取的 ...

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