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利用噴霧熱裂解塗佈法製作高溫超導體氧化物薄膜

薄膜工程是半導體工業中製造電子元件不可缺少的一項基本製程, 而近年來所發現的高溫超導體氧化物, 也正以此項技術來製作實用化的高溫超導薄膜。一般薄膜製程均在昂貴的 ...

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