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科技部「自研自製高階儀器設備與服務平台」 - 行政院

此計畫所購買的儀器，其目的完全不在於一般服務性的檢測，而是用於幫助自研自製新的儀器。儀 ... 英文儀器名稱High aspect ratio via metal film deposition system.

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