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ASML首席技術長認為當前曝光技術可能已經快要走到盡頭 - T客邦

去年ASML兩次提高了生產目標，希望到2025年，其年出貨量能達到約600台DUV（深紫外光）曝光機以及90台EUV（極紫外光）曝光機。由於持續的晶片短缺，交付 ...

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