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正光阻與負光阻 - Scupk

光阻 是一種可感光的高分子材料﹐一般可分成正光阻和負光阻﹐就像照相用的正片 ... 負光阻劑是最早被應用在光刻工藝上的光阻劑類型，它擁有工藝成本低、產量高等優點。

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