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一文解析半導體核心材料：光阻劑 - 日間新聞

負光阻 劑是最早被應用在光刻工藝上的光阻劑型別，它擁有工藝成本低、產量高等優點。 但是負光阻劑在吸收顯影液後會膨脹，這會導致其解析度不如正光阻 ...

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