負光阻. ... 曝光後不可溶. ... 顯影時,未曝光. 部分溶解. ... 便宜. 正光阻. ... 曝光後可溶. ... 顯影時,曝光... 16. 負光阻. 缺點. ... 聚合體會吸收顯影溶劑. ... 光阻膨脹造成解析 ...
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