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負光阻優點
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负光阻优缺点_百度文库
負光阻的顯影劑主要是二甲苯(Xylene) 造成光阻膨脹 負光阻薄膜基片 正光阻薄膜基片 9 正、負光阻優缺點負光阻 曝光後不可溶解 未曝光的部分被顯影
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