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蝕刻製程ppt

開始蝕刻前，晶圓上會塗上一層光阻劑或硬罩(通常在半導體面形成積體電路所需的圖形，通常要用蝕刻方法;蝕刻方法分為 ... 其優點在不等向蝕刻性較高。

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