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第十一章化學加工

藍翔耀老師. 正光阻和負光阻之區別 ... 阻進一步硬化，使未曝光部分的光阻較難溶解. 顯影. 經由化學溶液將光阻材料的圖形顯現出來稱為顯影 ... ‧11-4-5 化學蒸鍍之優點 ...

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