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負光阻優點
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❒ 光學曝光機的光源光學曝光機所使用的光源主要是產生紫外光,紫外光可以將光阻的化學鍵結變鬆散(正光阻)或變堅固(負光阻),隨著閘極長度(製程節點)的 ...
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