1 概述 · 2 光阻 · 3 步驟. 3.1 襯底的準備; 3.2 光阻的塗抹; 3.3 軟烘乾; 3.4 曝光; 3.5 顯影; 3.6 硬烘乾; 3.7 刻蝕或離子注入; 3.8 光阻的去除 · 4 曝光系統 · 5 優點和缺點 ...
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