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半導體物理與元件 - 光電工程系- 國立臺北科技大學

光阻 化學鍵斷裂(正光阻)或鍊結(負光阻)。於是，在經過顯影之後，就可以. 將光罩上的圖案複製在光阻上。 此種方法的主要缺點為：晶片上的塵粒會對光罩造成損傷，而優點 ...

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