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負光阻優點
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半導體製程導論 - 劉承瑋- Wesley Liu
最主要的化合物半導體為III-V族,如砷化鎵(GaAs),砷化鎵半導體的優點有 ... 負雕像是用負光阻,負光阻原本無鍵結,照光後才會產生鍵結,形成的圖案 ...
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