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一文解析半导体核心材料：光阻剂 - 今日头条

负光阻 剂是最早被应用在光刻工艺上的光阻剂类型，它拥有工艺成本低、产量高等优点。 但是负光阻剂在吸收显影液后会膨胀，这会导致其解析度不如正光阻剂。因此负光阻剂 ...

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