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以低介電常數材料作為深紫外光微影之抗反射層研究

(chemical amplified) 型光阻，此種光阻對於微小曝 ... 用來減小光阻基底界面間的反射光。 ... 種種優點皆比傳統的底抗反射層優越許多。 二、基本原理. 一道光入射在 ...

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