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微影

負光阻. ➢光阻遇光後光阻結構加強不溶於顯影劑. ◇好的光阻特性. ➢良好的附著性. ➢抗蝕刻性. ➢解析度 ... 優點：以接觸式方式這種曝光機對晶片執行曝光時，光罩.

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