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負光阻優點
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微影製程 - 國立高雄科技大學第一校區
主要優點. 溶. 液. 水溶液清洗溶劑. ▫ 大部分水溶液清洗液消除了一種污染物之後會額外生成另一 ... 負光阻:分子鍵在曝光後被交鏈固化,在顯影時未曝光部分. 會被溶去.
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