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負光阻優點
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〈分析〉一文解析半導體核心材料:光阻劑 - 鉅亨
正光阻劑:正光阻劑在經過曝光後,受到光照的部分將會變得容易溶解,只留下未受到光照的部分形成圖形;極精密IC 產品及對感光靈敏度要求更高的IC 產品, ...
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