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8 家研究機構儀器設備及使用收費標準

薄膜 測厚儀(n&k analyzer). 0. 0.3. 元/秒. 0. 1,500. 元/時. 1,500. SE-008. 濕式蝕刻清洗系統. (Wetbench). 0. 20. 0. 54. 3,500. SE-009. 自動化光阻塗佈及顯影系統.

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