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記憶體製程
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簡介扇型場效電晶體(FanFET) 於3D-NAND Flash之應用
本文介紹的立體堆疊技術的快閃記憶體FanFET 3D-NAND Flash具有高容量密度、製程模組化、開發成本低的特點,並且使用DUV 黃光機台即可完成奈米級的創新 ...
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