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研究原子力顯微鏡對於掃描Z 高度量測訊號誤差

圖2.1.4 Dimension Head Scanner，本圖摘自[6]。 下半部分為垂直掃描器，藉由施加電壓於內外電極間，造成壓電管產生伸. 長或縮短 ...

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