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光學微影的限制

事實上，特徵解析度可定義為在一個特定調焦範圍[4]內可刻印出的最小特徵。DOF受到生產過程中的各種製程錯誤所影響，而DOF本身可作為近似值，用以代表影響最後CD控制成效的 ...

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