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製程 黃 光 蝕刻
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卷到卷(R2R)雷射圖案設備技術 - 雷射光谷推動促進網
以雷射圖案成形取代傳統黃光微影圖案製程,可將光阻塗佈、曝光、顯影、烘烤、蝕刻、去光阻等6道黃光製程簡化成單一道乾蝕刻圖案成形製程,乾式製程(減少污染性酸、鹼 ...
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