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製程 黃 光 蝕刻
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光束(光通量) - 宸暘科技股份有限公司
在半導體晶圓製造過程中,每個晶都必須經過擴散區(Diffusion),黃光區、蝕刻區、 ... 微影製程是在晶片上塗上一層薄薄的光阻劑,而後用360nm的紫外線將線路圖顯影在 ...
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