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紫外光雷射於鋁摻雜氧化鋅薄膜電極圖案化與退火製程研究

本研究提出了複合式雷射處理技術(同時具有電極圖案化與雷射退火製程效果)，針對鋁摻雜氧化鋅. (aluminum-doped zinc oxide, AZO) 透明導電薄膜材料於一個製程步驟中 ...

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