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【爐管退火】Chapter5加熱製程 +1 | 健康跟著走

爐管退火：Chapter5加熱製程，退火.–離子佈植後.–合金.–再流動.•高溫CVD.–磊晶矽.–多晶矽.–氮化矽.•RTP...13.晶圓裝載，水平式系統.到排氣端.製程爐管.晶...

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