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工業應用選例 - 國家同步輻射研究中心

在先進半導體製程中，薄膜材料的晶相控制、界面型態調整與缺陷抑制表現為重要的製程工作，亦是影響元件電性的關鍵因素。目前中心已進行發展半導體熱退火的製程設備，將結合 ...

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